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学外者利用可能設備一覧

X線光電子分光装置(JPS-9030)

概要

設備名称 X線光電子分光装置(JPS-9030)
設置場所 機器分析施設 (小金井キャンパス)
型式 日本電子㈱JPS-9030
概要 【設備の特徴(何をする設備or何ができる設備)】
X線を試料妙面に照射し、材料表面近傍(表面から数nm)から放出される光電子を検出し、定性・定量および化学結合状態分析を行うことができる表面分析装置である。検出元素はLi~Uまで、検出感度は約0.1atomic%である。測定対象材料は、金属・半導体や無機材料から高分子材料まで幅広い材料に対応可能。
【設備メーカー名】日本電子㈱JPS-9030 X線光電子分光装置
【主な仕様】
X線源 Mg/Alツインアノード、出力450W以上
検出器 マイクロチャンネルプレート
エネルギーアナライザ 静電半球形アナライザ                                 アナライザパスエネルギー5eV~200eV
分解能・感度 3d5/2光電子スペクトルをMgkα励起した場合、300W換算で1.80 eV以上の分解能で5,000,000cps以上、1.00 eV以下の分解能で1,000,000cps以上
試料室真空度  試料観測室の真空度は、10-8Paオーダー以下
測定試料サイズ 6mmΦ(厚さ5mm以下)
イオンエッチング性能 イオン銃のエッチングレートは3 ~ 100nm/min(SiO2換算)以上                                                                         【利用制限(サンプルの種類、操作上の制限など)】
超高真空中でガス放出が多い材料の取扱いに注意

利用・予約方法

利用・予約方法 その他 (設備サポート室へお問い合わせください)
備考欄

料金

利用料金 9900円/2時間
トレーニング料金 8000円

管理者情報

管理者 学術研究支援総合センター 飯島
メールアドレス setsubicc.tuat.ac.jp (迷惑メール防止のため「@」が画像になっております。)
URL

管理者研究紹介

研究紹介URL