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学外者利用可能設備一覧

走査電子顕微鏡

概要

設備名称 走査電子顕微鏡
設置場所 機器分析施設 (小金井キャンパス)
型式 フィリップス社製(現FEI)XL-30
概要 【設備の特徴】走査電子顕微鏡(SEM)本体とエネルギー分散型X線分析装置(EDX)から構成されている。

【基本仕様】
     走査電子顕微鏡
    ・加速電圧 0.2~30kV
    ・分解能 2nm
    ・倍率 10~400,000倍
    ・ステージ駆動範囲 X-Y軸:50×50mm、Z軸:20mm、傾斜:-15~75°
    ・最大試料サイズ 200mmφ、厚さ55mm
     エネルギー分散型X線分析装置(EDAX製 DX-4)
    ・検出可能元素 Na(11)~U(92)
    ・機能 定性分析、定量分析、マッピング、線分析、点分析

【注意事項】高真空環境下で試料室内を汚染しない材質の試料であれば特に制限はない。

利用・予約方法

利用・予約方法 相談予約(設備管理者にメールで予約してください)
備考欄

料金

利用料金 700円/回 1回当りの使用時間は30分間
トレーニング料金 利用時に相談

管理者情報

管理者 池田浩治
メールアドレス ikedakcc.tuat.ac.jp (迷惑メール防止のため「@」が画像になっております。)
URL

管理者研究紹介

研究紹介URL