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学外者利用可能設備一覧

電界放出型走査型電子顕微鏡

概要

設備名称 電界放出型走査型電子顕微鏡
設置場所 新2号館2N101室 (府中キャンパス)
型式 日本電子(株)製 JSM-7100F(FE-SEM, EDX)
概要 【設備の特徴】    
 試料に細く絞った電子線を照射すると、その相互作用により二次電子、反射電子、特性X線などが発生する。走査電子顕微鏡(SEM)は細く絞った電子線を試料表面で走査し、二次電子と反射電子をそれぞれ検出することで数百~数十万倍に拡大した試料表面形態を観察できる装置である。
 本装置は大電流で微細な電子線を長時間安定して得られる電子光学系を装備した万能FE-SEMである。また搭載しているエネルギー分散型X線分析装置は、観察しながら元素分析や元素分布状態を知ることができる元素マッピング測定が可能である。加えて、クライオユニットを搭載しているため、-120℃程度に試料を冷却しながらの観察が可能である。

【主な用途】
 医学・生物学分野から金属・半導体・セラミックスなどの材料分野での研究開発や品質管理。

【基本仕様】
   ・電子銃:ショットキー型電子銃
   ・加速電圧:0.2 ~ 30kV
   ・分解能:1.2nm@30kV
        3.0nm@1kV
   ・倍率:10 ~ 1,000,000倍
   ・試料ステージ:X軸 20mm、Y軸 20mm、 Z軸 15~41mm
           傾斜および回転は不可
   ・付属装置:エネルギー分散型X線分析器(日本電子製 JED-2300)
           クライオユニット(Gatan製 ALTO2300)

【注意事項】
 熱に弱い試料は長時間電子線を照射していると形状が変形することがある。 

利用・予約方法

利用・予約方法 ネットワーク予約
備考欄 .1回あたりの使用時間は5時間までとする。クライオ利用の場合、学内者については必要な液体窒素を自身で用意し、学外者については16,000円を追加課金とする。

・学外の方でネットワークに登録が無い場合は、設備管理者まで直接問い合わせください。

・使用者登録、使用料集計などの事務仕事担当の副管理者として辻村先生と森山先生が、装置の操作やトラブルへの対応などの担当の副管理者として半先生、小瀬先生がそれぞれ担当します。

料金

利用料金 8,000円/5時間 クライオ利用の場合、学外者については液体窒素購入費用として16,000円を追加課金とする。
トレーニング料金 Max 1,400円/時間

管理者情報

管理者 船田 良
メールアドレス funadacc.tuat.ac.jp (迷惑メール防止のため「@」が画像になっております。)
URL

管理者研究紹介

研究紹介URL http://kenkyu-web.tuat.ac.jp/Profiles/1/0000023/profile.html