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学外者利用可能設備一覧

電界放出型走査型電子顕微鏡(FESEM)

概要

設備名称 電界放出型走査型電子顕微鏡(FESEM)
設置場所 機器分析施設機器室4 (小金井キャンパス)
型式 日立、S-4500
概要 【設備の特徴】表面(状態、構造)の観察、表面の元素分布分析

【基本仕様】
     ・電子銃:冷陰極電界放出型
     ・加速電圧:0.5~30kV
     ・分解能:1.5nm(15kV、WD4mm)、4.0nm(1kV、WD3mm)
     ・倍率:高倍率モード 50~500,000倍
         低倍率モード 20~1500倍
     ・エネルギー分散型 X 線分光装置 (EDX)付属

【利用制限(サンプルの種類、操作上の制限など)】蒸気圧の高い試料は利用を制限する場合がある

利用・予約方法

利用・予約方法 ネットワーク予約
備考欄

料金

利用料金 1,000円/30分
トレーニング料金 1,400円/時間 Max

管理者情報

管理者 野口 恵一
メールアドレス knoguchicc.tuat.ac.jp (迷惑メール防止のため「@」が画像になっております。)
URL

管理者研究紹介

研究紹介URL http://kenkyu-web.tuat.ac.jp/Profiles/3/0000234/profile.html